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RELA絕對(duì)式高精度柵尺
來源:蘇州連達(dá)精密量?jī)x有限公司  發(fā)布時(shí)間:2022-06-09 11:14:45   點(diǎn)擊次數(shù):0

RELA絕對(duì)式高精度柵尺

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系統(tǒng)特性

·單碼道絕對(duì)式光柵柵尺

·?1米內(nèi)的保證精度可達(dá)士1 um. 30 um標(biāo)稱柵距確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)控制性能

·堅(jiān)固耐用的ZeroMetT材料的熱膨脹系數(shù)僅為0.75±0.35 um/m/C

(20°C時(shí)),并且便于搬運(yùn)和安裝

·柵尺安裝選項(xiàng):自粘式或裝夾式

·有多種長(zhǎng)度可供選擇,最長(zhǎng)可達(dá)1.5 m±40 nm電子細(xì)分誤差,可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的速度控制

·分辨率可達(dá)1 nm

·最大速度為100 m/s

RELA絕對(duì)式高精度ZeroMetTM柵尺與雷尼紹革命性的真正意義絕對(duì)式光柵系統(tǒng)RESOLUTETM兼容。

當(dāng)長(zhǎng)度不超過1米時(shí),RELA具有經(jīng)認(rèn)證的±1 um精度,結(jié)合低熱膨脹ZeroMet材料,適于精度要求極高的測(cè)量場(chǎng)合。雷尼紹RESOLUTE絕對(duì)式光學(xué)讀數(shù)頭細(xì)分誤差為±40 nm,分辨率高達(dá)1 nm,噪聲(抖動(dòng))低,最大速度為100 m/s,提高了柵尺的性能。

RELA具有很強(qiáng)的抗污染能力,且易于調(diào)試,其優(yōu)異的性能可與價(jià)格昂貴的精細(xì)柵距光柵系統(tǒng)媲美。

?

規(guī)格手冊(cè)

RELA絕對(duì)式高精度柵尺

?

規(guī)格表

柵尺

碼道

柵距

形狀(Hx W)

最大長(zhǎng)度

測(cè)量長(zhǎng)度

精度

?

材料

熱膨脹系數(shù)(20°C時(shí))

安裝

?

?

質(zhì)量

單個(gè)絕對(duì)式光學(xué)碼道

30 um

1.6 mm x 14.9 mm

1.5m

見下表

長(zhǎng)度不超過1 m時(shí)認(rèn)證精度為±1 um.長(zhǎng)度>1 m時(shí)精度為±1 um/m校準(zhǔn)可溯源至國際標(biāo)準(zhǔn)

ZeroMet。高穩(wěn)定、低膨脹鎳-鐵合金

0.750.35 um/m/°C

環(huán)氧樹脂基準(zhǔn)點(diǎn)和膠帶或基準(zhǔn)夾具和安裝夾

所有柵尺背面均自帶不干膠帶

(標(biāo)稱厚度為0.2 mm)

184 g/m

?

?

測(cè)量長(zhǎng)度

柵尺長(zhǎng)度?L (mm)

20

30

40

50

60

70

80

110

測(cè)量長(zhǎng)度?ML (mm)

10

20

30

40

50

60

70

100

柵尺長(zhǎng)度?L (mm)

130

150

180

230

250

280

330

380

測(cè)量長(zhǎng)度?ML (mm)

120

140

170

220

240

270

320

370

柵尺長(zhǎng)度?L (mm)

430

480

530

580

630

680

730

780

測(cè)量長(zhǎng)度?ML (mm)

420

470

520

570

620

670

720

770

柵尺長(zhǎng)度?L (mm)

880

980

1030

1130

1230

1330

1430

1500

測(cè)量長(zhǎng)度?ML (mm)

870

970

1020

1120

1220

1320

1420

1490

?

規(guī)格手冊(cè)

RELA絕對(duì)式高精度柵尺

?

分辨率、速度和柵尺長(zhǎng)度

RESOLUTE提供多種分辨率。分辨率的選擇取決于所使用的串行協(xié)議。

采用BiSS-C串行通訊的RESOLUTE提供1 nm、5 nm50 nm分辨率選項(xiàng)。?最大讀取速度為100 m/s。?最大柵尺長(zhǎng)度由讀數(shù)頭分辨率和串行字位置位數(shù)確定。

分辨率

最大柵尺長(zhǎng)度?(m)

36位置位

32位置位

26位置位

1 nm

1.5*

1.5*

0.067


5 nm

1.5*

1.5*

0.336


50 nm

1.5*

1.5*

1.5*


采用Siemens DRIVE-CLiQ串行通訊的RESOLUTE提供1 nm50 nm分辨率選項(xiàng)。?最大讀取速度為100 m/s。?最大柵尺長(zhǎng)度由讀數(shù)頭分辨率和串行字位置位數(shù)確定。

分辨率

最大柵尺長(zhǎng)度?(m)


34位置位

28位置位


1 nm

1.5*

不適用


50 nm

不適用

1.5*


?

?

采用Mitsubishi串行通訊的RESOLUTE提供1 nm50 nm分辨率選項(xiàng)。?最大讀取速度為100 m/s。?最大柵尺長(zhǎng)度由讀數(shù)頭分辨率和串行字位置位數(shù)確定。

分辨率

40位置位的最大柵尺長(zhǎng)度?(m)

1 nm

1.5*

50 nm

1.5*

?

采用Yaskawa串行通訊的RESOLUTE提供1 nm50 nm分辨率選項(xiàng)。?最大柵尺長(zhǎng)度由讀數(shù)頭分辨率和串行字位置位數(shù)確定。

分辨率

36位置位的最大柵尺長(zhǎng)度?(m)

最大讀取速度?(m/s)

1 nm

1.5*

3.6

50 nm

1.5*

100

采用Panasonic串行通訊的RESOLUTE提供1 nm、50 nm100 nm分辨率選項(xiàng)。

對(duì)于Panasonic協(xié)議,最大柵尺長(zhǎng)度1.5 m*適用于所有分辨率。

分辨率

最大讀取速度?(m/s)


Panasonic A5系列

Panasonic A6系列


1 nm

0.4

4


50 nm

20

100


100 nm

40

100


采用FANUC串行通訊的RESOLUTE提供1 nm50 nm分辨率選項(xiàng)。

最大讀取速度為100 m/s。 對(duì)于FANUC協(xié)議,最大柵尺長(zhǎng)度1.5 m*適用于所有分辨率。?

*RELA柵尺最長(zhǎng)可為1.5 m。如需更長(zhǎng)的柵尺,可考慮使用RSLA柵尺(最長(zhǎng)5 m)或RTLA柵尺(最長(zhǎng)21 m)。

?

RESOLUTE安裝圖(在RELA柵尺上)

尺寸和公差?(mm)

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?

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?

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?

*安裝面厚度。?=建議的螺紋嚙合長(zhǎng)度最小為5(包括沉孔后為8 mm)。建議的擰緊扭矩為0.50.7 Nm。???到柵尺表面的尺寸。

?

RELA安裝圖(粘貼安裝)

尺寸和公差?(mm)

image.png?

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?



?

注:粘貼安裝式柵尺在安裝后不可重復(fù)使用。??垂直安裝柵尺時(shí),須固定定位銷,以支撐基準(zhǔn)邊緣。

柵尺訂貨號(hào)

訂貨號(hào)為A-9766-xxxx,其中xxxx為柵尺總長(zhǎng)度,單位為mm(請(qǐng)參見下表中的可用長(zhǎng)度)

柵尺實(shí)際長(zhǎng)度?(mm)

柵尺實(shí)際長(zhǎng)度?(mm)

0020

0110

0330

0680

1330

0030

0130

0380

0730

1430

0040

0150

0430

0780

1500

0050

0180

0480

0880



0060

0230

0530

0980



0070

0250

0580

1030



0080

0280

0630

1230



RELA兼容讀數(shù)頭

RELA

?

image.png?

安裝指南?M-9553-9128

規(guī)格手冊(cè)?BiSS L-9517-9453

FANUC L-9517-9447

Mitsubishi L-9517-9459

Panasonic L-9517-9465

Siemens DRIVE-CLiQ L-9517-9529

Yaskawa L-9517-9441

規(guī)格手冊(cè)?L-9517-9535

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